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RF/DCスパッタ装置
大阪大学 産業科学研究所 産業科学ナノテクノロジーセンター
バイオナノテクノロジー研究分野 谷口(正)研究室 様
筑波大学大学院 物理物質科学研究科
環境半導体研究室(未益研究室) 様
真空蒸着装置
理化学研究所 田中メタマテリアル研究室 様
https://www.riken.jp/research/labs/chief/metamaterials/index.html
EB描画機器
千葉大学大学院 理学研究科 基板理学専攻 物理学コース
光物性・量子伝導研究室(音研究室) 様
電子顕微鏡関連機器(その他)
大阪大学大学院 工学研究科 機械工学専攻
渋谷・垂水研究室 様