マニピュレータ/特殊ステージ

より微小なもののハンドリング・より微細な加工・より精度の高いステージ制御…。研究開発における欲求は無限です。その限りない欲求を満たすべく、ピエゾアクチュエータなどを用いたナノレベルの各種マニピュレータや、主にEBリソグラフィに用いられる高精度ステージなど、長年に渡って培ってきたノウハウをもとに『ご希望の仕様』で製作いたします。

TEM用マニピュレータ

マルチプローブマニピュレータ

ガスインステージ

長尺試料用ステージ

モーターステージ
(描画用)

試料加熱ステージ/ホルダ
(SEM/FIB用等)