全自動コーターが試料作製の煩わしさを解消
特長
- 電子顕微鏡用試料を全自動で手軽に作製
- プリセット方式により、膜厚のコントロール（簡易型）が可能。
- 前処理装置だからこその簡単操作/高い再現性
基本仕様
| カソード | φ2 インチ/2 極対向電極 |
| スパッタターゲット | Au ターゲット付属 |
| エッチングターゲット | Al ターゲット付属 |
| 膜厚設定方式 | プリセット方式/デジタル表示膜厚モニター付 |
| ガス導入機構 | ニードルバルブ |
| 真空ポンプ | 直結型ロータリーポンプ:20l/min(自動リーク付) |
| 排気操作 | 自動 |
| チャンバーサイズ | 内径φ120mm×D120mm(SUS 製) |
| 試料交換方法 | 前面ドア開閉式 |
| 寸法(W/D/H) | 本体:225/420/320mm RP:300/160/200mm |
| 重量 | 本体:15kg RP:9kg |