マグネトロンカソードが試料作製時のイオンダメージを軽減
特長
- 試料にやさしいマグネトロンカソード採用
- 高効率なスパッタ方式により、高倍率でのSEM観察にも耐えうる試料作製が可能です。
- 膜厚を制御しながらの試料作製を可能としたSEM用前処理装置
基本仕様
| カソード | φ2 インチDCマグネトロン/2 極対向電極 |
| ターゲット | Au ターゲット付属 |
| 膜厚設定方式 | プリセット方式/デジタル表示膜厚モニター付 |
| ガス導入機構 | ニードルバルブ |
| 真空ポンプ | 直結型ロータリーポンプ:20l/min(自動リーク付) |
| 排気操作 | 自動 |
| チャンバーサイズ | 内径φ120mm×D120mm(SUS 製) |
| 試料交換方法 | 前面ドア開閉式 |
| 寸法(W/D/H) | 本体:225/420/320mm RP:300/160/200mm |
| 重量 | 本体:15kg RP:9kg |