スパッタ装置

RF／DCスパッタ装置

絶縁薄膜、酸化薄膜、金属薄膜生成や多層の薄膜作製に対応する、機能拡張性に優れた実験研究用RF／DCスパッタ装置です。

導電薄膜作製用コンパクトスパッタ装置
Desk Top Quick Coater　SC Series

各種金属の薄膜作製を、コンパクトで使いやすい装置で手軽に行なえます。
SEM/TEM用などの前処理にはこちらをご覧ください。