蒸着装置への機能拡張が可能な真空排気装置
特長
- コンパクトなデスクトップタイプの真空排気システム
- 真空が必要な各種実験に対応
- 真空排気系本体を利用して、真空蒸着装置としての機能拡張が可能です。
- イージーオペレーション
用途・実績例
- 真空排気が必要な各種実験
- 真空排気チャンバーシステム
基本仕様
| 真空ポンプ | TMP: 67l/sec(@N2) RP: 20l/min (直結型) 真空保持ユニット付 |
| 到達圧力 | 10‐4Pa 台 |
| 寸法 (W/D/H) | 340/460/220.5mm |
| 重量 | 約25kg |